Halvledare och instrumentering

Hem / Ansökan / Halvledare och instrumentering
Halvledare och instrumentering

Halvledare och instrumentering

Inom sektorerna för ledande material och instrumentering fungerar flänsar som svängbara komponenter som samtidigt fyller funktioner som anslutning, tätning, installationspositionering, termisk hantering och föroreningsbeständighet. I hög/ultra-högt vakuumsystem för halvledarprocesser som litografi, etsning och deponering möjliggör flänsar av typer inklusive KF, CF och ISO standardiserade gränssnitt och läckagefri tätning mellan kammare, pumpenheter och ventiler. Detta eliminerar kontaminering av föroreningar och säkerställer därigenom waferprocessens utbyte.